[发明专利]一种检测熔体泄漏的方法、系统及存储介质在审
| 申请号： | 202011182638.3 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112281209A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 全弘湧 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 沈寒酉;李斌栋 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种检测熔体泄漏的方法、系统及存储介质；该方法可以包括：在生产单晶硅硅棒的过程中，对拉晶炉内用于检测熔体泄漏的检测目标的状态参数进行检测；当检测到的状态参数发生变化时，判断所述状态参数的变化特征；相应于所述变化特征满足设定的判定准则，确定所述拉晶炉中的石英坩埚内的熔体发生泄漏现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 泄漏 方法 系统 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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