[发明专利]真空镀膜设备的控制方法、控制系统和真空镀膜设备

摘要

本发明提出了一种真空镀膜设备的控制方法、控制系统和真空镀膜设备。一种真空镀膜设备的控制方法包括：基于真空镀膜设备上电的情况下，检测转换腔内的第一压强值，根据第一压强值确定基准大气压强值；响应于预设控制指令，检测转换腔内的第二压强值；根据第二压强值和基准大气压强值，控制转换腔开腔，并检测转换腔内的第三压强值；根据第三压强值更新基准大气压强值。通过本发明提供的真空镀膜设备的控制方法，能够实时跟踪当前(每时每刻)的大气压变化，进而自动校准基准大气压开腔安全范围，有效解决了大气压误差变化大的影响，从而有效避免了产生碎片的情况，继而有效保证了产能。