[发明专利]一种陶瓷电容式压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202011187065.3 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112229544A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 景杰;殷捷;许正昌;王清新 | 申请（专利权）人： | 常州盛士达传感器有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 常州国洸专利代理事务所(普通合伙) 32467 | 代理人： | 吴丽娜 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种陶瓷电容式压力传感器及其制备方法，属于传感器制备技术领域。包括厚陶瓷基板、薄陶瓷基板，所述厚陶瓷基板和薄陶瓷基板之间通过玻璃浆粘结层粘结固定，所述厚陶瓷基板侧边缘上开设有多个凹槽，每个所述凹槽中都装填有一个L型的导电片，所述导电片和凹槽之间通过银胶导电连接，所述厚陶瓷基板顶部凹槽位置上还设有焊盘，所述焊盘用于连接导电片达到过渡连接作用。本发明的陶瓷电容式压力传感器在厚陶瓷基板侧边缘切凹槽，在凹槽中装填导电片，并在导电片和凹槽之间通过灌入导电银胶来填满槽腔，不受气压的影响，可以保证填满槽腔，同时也可以直观的检测，使得传感器的输出可靠性得到显著提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 电容 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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