[发明专利]超细气泡生成装置和元件基板制造方法在审
| 申请号： | 202011189480.2 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112742225A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 尾崎照夫;山田显季;久保田雅彦;山本辉;今仲良行;柳内由美;石永博之;樫野俊雄 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B01F3/04 | 分类号： | B01F3/04 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供超细气泡生成装置和元件基板制造方法。一种超细气泡生成装置，其在使用设置于基板的加热器的同时使液体进入膜沸腾而生成热超细气泡。该超细气泡生成装置包括控制单元，该控制单元向加热器输入能量，使得在输入到加热器的能量大于加热器生成膜沸腾的能量的条件下输入到加热器的能量相对于加热器生成膜沸腾的能量的比值低于1.17。 | ||
| 搜索关键词： | 气泡 生成 装置 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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