[发明专利]惯性MEMS器件电参数测量系统的校准装置和校准方法有效
| 申请号： | 202011189497.8 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112505601B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 顾翼;石坚;罗锦晖;丁超 | 申请（专利权）人： | 中国船舶重工集团公司第七0九研究所 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 武汉河山金堂专利事务所(普通合伙) 42212 | 代理人： | 胡清堂 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种惯性MEMS器件电参数测量系统的校准装置和校准方法，所述校准装置包括夹具适配器、矩阵开关、测量模块、驱动模块、电阻模块，并依次通过夹具、转台滑环、切换开关与惯性MEMS器件电参数测量系统对接形成校准通路。通过建立校准装置与惯性MEMS器件电参数测量系统之间的电信号连接；输出标准电信号激励，经由惯性MEMS器件电参数测量系统中的夹具、滑环、传输线传导至MEMS电参数测量仪表进行测量并显示测量结果；通过计算测量结果和标准值之间的误差，根据计算得出校准结果对测量系统进行校准调整，且完全覆盖了惯性MEMS器件电参数测量系统的全部参与环节和部件，使校准结果更加精确，进而提高测量系统测量的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性 mems 器件 参数 测量 系统 校准 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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