[发明专利]一种飞秒激光微纳加工装置及其使用方法与应用在审
| 申请号： | 202011190015.0 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112404705A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 郝作强;李东伟;张兰芝;常峻巍;蔡阳健 | 申请（专利权）人： | 山东师范大学 |
| 主分类号： | B23K26/0622 | 分类号： | B23K26/0622;B23K26/082;B23K26/70 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 王志坤 |
| 地址： | 250000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本公开涉及飞秒激光加工领域，具体提供一种飞秒激光微纳加工装置及其使用方法与应用。飞秒激光微纳加工装置包括飞秒激光器、均匀光丝阵列产生系统，三维移动控制装置，所述三维移动控制装置上设置待加工样品固定装置；所述均匀光丝阵列产生系统包括光束匀化装置、微透镜阵列；所述光束匀化装置与飞秒激光器之间的距离能够保证飞秒激光器发射出的飞秒激光呈平行状；所述微透镜阵列排布方向与三维移动控制装置的扫描方向呈一定角度，所述角度能够保证光丝阵列的多加工点可以并排扫描加工。解决现有技术中飞秒激光在复杂曲面上诱导微纳结构，采用单丝往复扫描的方式，加工效率低，耗时长，对设备精度要求高，机器损耗大的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 加工 装置 及其 使用方法 应用 | ||
【主权项】：
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