[发明专利]高增益、低发光ALD-MCP及其制备方法与应用有效
申请号: | 202011191113.6 | 申请日: | 2020-10-30 |
公开(公告)号: | CN112420477B | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 邱祥彪;张正君;丛晓庆;李臻;毛汉祺;任玲;李婧雯;乔芳建;黄国瑞;王鹏飞 | 申请(专利权)人: | 北方夜视技术股份有限公司 |
主分类号: | H01J43/24 | 分类号: | H01J43/24;H01J9/02;C23C16/40;C23C16/455 |
代理公司: | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人: | 王培松;王菊花 |
地址: | 650217 云南*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: |
本发明提供一种高增益、低发光ALD‑MCP及其制备方法与应用。高增益、低发光ALD‑MCP的制备方法,包括将MCP基底置于臭氧环境下进行预设时间周期的预处理;以及预处理完成后,在MCP基底上原位制备MgO/Al |
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搜索关键词: | 增益 发光 ald mcp 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
暂无信息
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