[发明专利]一种超洁净转移石墨烯至金属载网的方法在审

专利信息
申请号: 202011191301.9 申请日: 2020-10-30
公开(公告)号: CN112299403A 公开(公告)日: 2021-02-02
发明(设计)人: 蔡金明;陈其赞;郝振亮 申请(专利权)人: 广东墨睿科技有限公司
主分类号: C01B32/194 分类号: C01B32/194;C01B32/186;G01N23/2202
代理公司: 东莞科强知识产权代理事务所(普通合伙) 44450 代理人: 李林学
地址: 523600 广东省东莞市道滘镇万道路*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明属于石墨烯应用技术领域,一种超洁净转移石墨烯至金属载网的方法,包括步骤1,制取石墨烯/铜箔/石墨烯样品;步骤2,旋涂PMMA/聚四氢呋喃复合高分子支撑膜;步骤3,金属铜箔刻蚀;步骤4,目标基底负载;步骤5,蒸汽去胶。本发明提供的超洁净转移石墨烯至金属载网的方法可实现石墨烯在金属载网上超洁净转移;本发明提供的超洁净转移石墨烯至金属载网的方法使用蒸气去胶,可确保转移过程中石墨烯不破损;本发明提供的超洁净转移石墨烯至金属载网的方法可极大提高金属载网的电子迁移率和热传导能力,超洁净石墨烯/金属载网可应用于结构生物学研究;本发明提供的超洁净转移石墨烯至金属载网的方法原理简单,操作简便,同时该技术思路可拓展至其他负载衬底的石墨烯干净转移。
搜索关键词: 一种 洁净 转移 石墨 金属 方法
【主权项】:
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