[发明专利]一种柔性化学镀铜太赫兹传输空芯波导及制备方法

摘要

本发明公开了一种柔性化学镀铜太赫兹传输空芯波导及制备方法，是以ABS塑料管为基管，在ABS塑料管内表面通过无钯动态化学镀铜工艺，制备高质量致密铜层，实现低损耗太赫兹传输。所述空芯波导的设计参数：空芯波导的内径3 mm~10 mm，波导基材ABS塑料的厚度0.6mm‑1mm，对应的空芯波导的外径3.6 mm~11 mm。所述无钯动态化学镀铜工艺包括如下步骤：将选取的波导基管进行除油处理、酸性处理和敏化处理，再利用蠕动泵，将配置的适量镀铜液通入基管内进行动态循环，生长铜层，最后通氮气吹干得到镀铜太赫兹传输空芯波导，其中铜层的均方根粗糙度为40nm‑50nm。本发明空芯波导的制备，无需使用价格高昂的钯活性剂，镀铜液可循环利用，消耗少，成本低，波导结构制作简单，可弯曲，低损耗，传输频段宽和可室温工作等优点，具有巨大的应用价值。