[发明专利]一种冷光源曝光机在审
| 申请号： | 202011192267.7 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112180694A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 李健儿;冯永;胡仲波;敬春云;宋勇;王一超;李慕轩 | 申请（专利权）人： | 四川上特科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 | 代理人： | 王小艳 |
| 地址： | 629200 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种冷光源曝光机，包括支架、载片台、曝光机构和竖向调节机构，载片台水平固定于支架的下端，竖向调节机构用于调节曝光机构的高度，曝光机构包括紫外灯源、多面镜组、反光镜组、机械快门和罩壳，多面镜组和反光镜组均置于罩壳内，多面镜组包括若干呈环形均匀紧密布置的反光片，紫外灯源置于多面镜组的中心点位置处，反光镜组包括第一反光镜和第二反光镜，第一反光镜与第二反光镜平行对峙布置、并与水平方向呈夹角45°布置，第一反光镜置于紫外灯源正下方，机械快门横置于第一反光镜和第二反光镜之间，第二反光镜正下方还设有准直镜。其避免了曝光机载片台上热面积累积，提高了曝光效率，大大降低了紫外光的能量衰减，扩大了曝光面积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光源 曝光 | ||
【主权项】：
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