[发明专利]一种用于D4液体原材料的汽化装置及方法有效

专利信息
申请号: 202011192522.8 申请日: 2020-10-30
公开(公告)号: CN112266161B 公开(公告)日: 2023-04-14
发明(设计)人: 孙伟光;王昌军;宋涛;谢校臻 申请(专利权)人: 烽火通信科技股份有限公司;武汉烽火锐拓科技有限公司
主分类号: C03B37/014 分类号: C03B37/014
代理公司: 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 代理人: 唐勇
地址: 430000 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 本申请涉及一种用于D4液体原材料的汽化装置及方法,属于光纤预制棒OVD沉积工艺生产设备技术领域,其中,汽化装置包括沿D4液体流动方向依次连接的吸附D4液体内水分的液体供料装置、将D4液体雾化成雾滴的雾化器、将雾化成雾滴的D4液体蒸发成D4蒸汽的蒸发器以及输送D4蒸汽并收集D4蒸汽中高沸点杂质的蒸汽管道,雾化器还连接有高纯载气装置。本申请对D4液体进行汽化处理过程中首先通过液体供料装置对D4液体内的水分进行吸附,可以显著减少D4液体的水分含量,避免了D4液体在汽化过程中分子环断裂。在蒸汽管道内D4蒸汽垂直上升流动,位于D4蒸汽内的高沸点杂质受到自身重力作用而下落与D4蒸汽分离,提高了光纤预制棒的良品率。
搜索关键词: 一种 用于 d4 液体 原材料 汽化 装置 方法
【主权项】:
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