[发明专利]基于光学原理的多轴力传感器有效
申请号: | 202011193267.9 | 申请日: | 2020-10-30 |
公开(公告)号: | CN112213009B | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 白仲皖 | 申请(专利权)人: | 华力创科学(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01L1/24 | 分类号: | G01L1/24;G01L5/16;G01L5/166 |
代理公司: | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人: | 谭雪婷;梁炎芳 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于光学原理的多轴力传感器,其包括感测件和堆叠在感测件上侧的封盖件。感测件具有中空设置的外围部和设置于外围部中心位置的承载部,承载部与外围部通过多个均匀分布在承载部外周侧的弹性悬梁部与外围部连接,承载部在外力作用下相对外围部发生偏转或移动。封盖件与承载部之间设置检测承载部相对外围部的偏转量或移动量的第一位移检测器。由此,以提供结构简单,便于制造生产的多轴力传感器。 | ||
搜索关键词: | 基于 光学 原理 多轴力 传感器 | ||
【主权项】:
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