[发明专利]一种多层薄膜热膨胀系数提取方法在审

专利信息
申请号: 202011194974.X 申请日: 2020-10-30
公开(公告)号: CN112326721A 公开(公告)日: 2021-02-05
发明(设计)人: 刘海韵;李臣明;高红民 申请(专利权)人: 河海大学
主分类号: G01N25/16 分类号: G01N25/16
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 210024 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种多层薄膜热膨胀系数提取方法,包括:测量每根等宽多层双端固支梁在常温下的吸合电压;测量每根不等宽多层双端固支梁在常温下的吸合电压;计算第i层薄膜的等效杨氏模量和初始残余应力;测量每根等宽多层双端固支梁在温度T下的吸合电压,并计算第i层薄膜在温度T下的残余应力;计算各层薄膜在温度T下的热膨胀系数;测量每根等宽多层双端固支梁在不同温度下的吸合电压,并计算第i层薄膜在不同温度下的残余应力;计算各层薄膜在不同温度下的热膨胀系数;本发明提供的一种多层薄膜热膨胀系数提取方法,简单易行、操作方便、成本较低、多层双端固支梁测试结构简单、测量速度快。
搜索关键词: 一种 多层 薄膜 热膨胀 系数 提取 方法
【主权项】:
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