[发明专利]一种偏折测量中实现屏幕和工件同时对焦的装置和方法

摘要

本发明公开了一种偏折测量中实现屏幕和工件同时对焦的装置和方法，属于精密制造领域，其中装置包括相机、屏幕、被测工件和对焦镜，对焦镜为凹面反射镜，对焦镜用于将屏幕成像在被测工件处，相机、被测工件、对焦镜和屏幕的位置适于使屏幕经过对焦镜反射在被测工件上的第二像能够再次经过被测工件反射出第一像，且第一像与被测工件重合以便于相机同时对屏幕和被测工件对焦。本发明结构简单且使用方便，能够克服偏折测量的角度‑位置不确定度难题、克服屏幕离焦造成的相位解析误差，从而显著提高相位测量偏折术对复杂光学曲面的测量精度。