[发明专利]一种通用掩模夹具在审
| 申请号： | 202011196576.1 | 申请日： | 2020-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN112213928A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 华卫群;尤春;刘维维;杨东海;顾梦星;刘浩 | 申请（专利权）人： | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人： | 吴忠义 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种通用掩模夹具，包括底座，所述底座上设有放置台，所述放置台上设有掩模，所述底座上设有用于夹持不同大小掩模的夹持装置，本发明通过设有夹持装置，可以解决目前阶段的掩模夹具存在的诸多不足，解决了在对于不同的掩模需要不同类型的夹具，无法实现一种夹具掩模通用的问题，在夹持不同大小的掩模时无需更换夹具，方便快捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通用 夹具 | ||
【主权项】：
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