[发明专利]相干探测器芯片及其制备方法有效
| 申请号： | 202011199919.X | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112304347B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 叶焓;韩勤;陆子晴;王帅;肖峰;肖帆 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01D5/353 | 分类号： | G01D5/353;G02B6/12;G02B6/122;H01L27/144 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供一种相干探测器芯片，包括：衬底，为芯片基底，包括第一衬底区、第二衬底区，以及位于第一衬底区和第二衬底区之间的第三衬底区；无源区域，位于第一衬底区上，自下而上依次包括：第一下包层、第一波导芯层、以及上包层；无源区域用于形成光学混频器及其输出波导；有源区域，位于第二衬底区上，自下而上依次包括：第二下包层、第二波导芯层、第二下接触层、光吸收层、P型层、以及上接触层，有源区域用于形成波导探测器；以及耦合区域，位于第三衬底区之上的无源区域和有源区域之间，自下而上依次包括：第三下包层、第三波导芯层及第三下接触层，耦合区域用于联结光学混频器的输出波导与波导探测器。同时还提供一种上述芯片的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 相干 探测器 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所，未经中国科学院半导体研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011199919.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
