[发明专利]波导耦合型单载流子探测器

摘要

本公开提供一种波导耦合型单载流子探测器，包括：衬底；波导区，包括：波导下包层，形成于所述衬底之上；以及耦合波导层，形成于所述波导下包层之上，用于与外部光源进行低损耗耦合；以及探测器区，包括：光学匹配层，形成于所述耦合波导层之上，用于对光场模式进行转换与耦合；光吸收层，形成于所述光学匹配层之上，用于吸收光场能量并产生载流子以及形成P型接触表面；载流子收集层，形成于所述光吸收层上方，作为电子的快速渡越区域；带隙过渡层，形成于所述光吸收层与载流子收集层之间，用于降低光吸收层和载流子收集层两者的能带高度差；以及顶部N型层，形成于载流子收集层之上，作为收集光电流的N型金属接触层。