[发明专利]一种衬底型衍射光学元件VCSEL分光结构及制备方法有效
| 申请号： | 202011204317.9 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN112117640B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 王智勇;李尉;代京京;叶征宇;兰天;李冲 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;G02B27/09;G02B1/14;G02B1/11 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 朱鹏 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种衬底型衍射光学元件VCSEL分光结构及制备方法，自下而上依次包括：热沉、底发射VCSEL阵列芯片、带有二元衍射光栅的衬底层、超表面结构层、保护层和增透膜层；所述衬底层的底部设有所述底发射VCSEL阵列芯片，所述衬底层的顶部设有二元衍射光栅，所述超表面结构层的组成微元呈正方形网格结构排布。本发明在底发射VCSEL芯片上键合衍射光学元件，将VCSEL芯片每个发光单元发射的激光分束，使输出激光束数量级增大；以及在衍射光学元件之上键合超表面结构层，用于激光分束后聚焦。本发明设计的衬底型衍射光学元件的VCSEL分光结构可以在半导体工艺下一步制成，且不需要外部光学元件，易实现器件小型化、芯片化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衬底 衍射 光学 元件 vcsel 分光 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
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