[发明专利]蝴蝶结天线耦合的太赫兹探测器及其制备方法有效
| 申请号： | 202011205369.8 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN112577613B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 涂学凑;刘梦欣;康琳;贾小氢;张蜡宝;赵清源;陈健;吴培亨 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;H01Q1/22;H01Q1/38;H01Q1/44;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 封睿 |
| 地址： | 210093 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种蝴蝶结天线耦合的太赫兹探测器，包括：硅衬底、二氧化硅支撑层、六氮五铌薄膜热敏层、电极层，所述二氧化硅支撑层生长在所述硅衬底上，所述六氮五铌薄膜热敏层生长在所述二氧化硅支撑层上，形成六氮五铌纳米桥结构，所述电极层兼作耦合天线，包括两组电极和蝴蝶结天线，位于所述六氮五铌薄膜热敏层上，所述蝴蝶结天线末端分别与一组电极相连，蝴蝶结天线尖端和所述六氮五铌纳米桥两端直接相连。本发明中的热敏薄膜探测单元尺寸在一百纳米以下，其与天线尖端接触部分尺寸也在一百纳米以下,通过天线与六氮五铌薄膜的接触连接形状设计将器件的热导减少至极限水平，显著提高了器件的灵敏度和响应速度。 | ||
| 搜索关键词： | 蝴蝶结 天线 耦合 赫兹 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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