[发明专利]一种蝶翅仿生结构色的制备方法及系统在审
申请号: | 202011205705.9 | 申请日: | 2020-11-02 |
公开(公告)号: | CN112518102A | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 赵圆圆;段宣明 | 申请(专利权)人: | 暨南大学 |
主分类号: | B23K26/00 | 分类号: | B23K26/00;B23K26/60;B23K26/70 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 张金福 |
地址: | 510632 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提出一种蝶翅仿生结构色的制备方法,包括以下步骤:将衬底放置在位移台上,并将光刻胶滴涂于衬底上表面;采用激光束依次通过二维扫描振镜组件、光学系统组件、物镜后聚焦到光刻胶与衬底的交界面;通过控制入射激光的曝光剂量形成层状聚焦光斑;根据路径设计调节控制二维扫描振镜组件的摆动使聚焦出射的光束在XY平面内扫描曝光,并根据路径设计调节控制位移台在Z方向上相对于层状聚焦光斑移动,形成蝶翅仿生结构色;采用无水乙醇清洗衬底除去剩余的光刻胶,得到固化的蝶翅仿生结构色结构。本发明还提出了一种蝶翅仿生结构色的制备系统,应用上述蝶翅仿生结构色的制备方法能够高效率、高保真制备蝶翅仿生结构色。 | ||
搜索关键词: | 一种 仿生 结构 制备 方法 系统 | ||
【主权项】:
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