[发明专利]一种基于多PSD的平面度实时校准补偿测量方法

摘要

本发明公开了一种基于多PSD的平面度实施校准补偿测量方法，该方法包括：目标和参考数据的获取：分别同步实时获取目标PSD和多个参考PSD1和PSD2的测量数据，同步误差：200ms；误差模型的建立：根据试验所处的地形环境，分析针对平面度精度影响且具有特定形式的误差主要是地面振动，并建立该环境下的误差模型；测站误差分离：接下来进行多组试验测量，增加数据样本，将数据进行分析，并分离误差；平面度实时校准：通过补偿系统对平面度进行实时补偿，保证扫描测试装置的平面度精度，补偿精度(分辨率小于0.005mm)。能够有效去除激光平面发生器本身的振动误差，有效提高平面补偿精度。