[发明专利]一种CVD沉积速率、产物织构和质量跨尺度预测方法有效
| 申请号： | 202011213889.3 | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN112331271B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 关康;曾庆丰;卢振亚;吴建青;刘建涛;冯志强 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | G16C10/00 | 分类号： | G16C10/00;G06F30/23;G06F30/28;C23C16/00;G06F113/08;G06F119/14;G06F111/10 |
| 代理公司： | 成都方圆聿联专利代理事务所(普通合伙) 51241 | 代理人： | 李鹏 |
| 地址： | 510641 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供CVD沉积速率、产物织构和质量跨尺度预测方法，S1建立反应器几何模型和划分网格；添加材料属性；S2建立多物理场模型，建立流体传热和层流模型，计算温度场和流场；S3建立化学和多组分物质传递模型，将先驱体气体反应输入模型，计算化学反应和浓度场分布；S4计算沉积表面浓度，与上一次总迭代计算的结果进行对比，满足收敛要求，流程结束；否则将表面浓度结果输入KMC模型进行下一次迭代；S5构建原子结构，确定表面反应；S6计算吸附、扩散速度，确定一步的原子结构与反应时间；S7若原子结构满足要求厚度，则返回S2；否则返回S5继续迭代计算。在本发明的基础上进行沉积工艺参数的优化，得到沉积产物织构可控，质量好的CVD产品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 沉积 速率 产物 质量 尺度 预测 方法 | ||
【主权项】：
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