[发明专利]一种碱性蚀刻药液及其制备方法有效
| 申请号： | 202011214423.5 | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN112323069B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 刘晓刚;刘超;许杰 | 申请（专利权）人： | 合肥微睿科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/36 | 分类号： | C23F1/36 |
| 代理公司： | 合肥超通知识产权代理事务所(普通合伙) 34136 | 代理人： | 饶晓玲 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碱性蚀刻药液及其制备方法，由以下重量份的原料制成：氢氧化钠96.64‑98.86份、络合剂0.04‑0.06份、表面活性剂0.1‑0.3份、四元缓蚀剂1‑3份、去离子水适量。其制备方法，包括以下步骤：(1)将去离子水倒入药液池中；(2)依次向药液池中加入氢氧化钠和络合剂，搅拌均匀；(3)继续向药液池中加入表面活性剂和四元缓蚀剂，搅拌均匀得到碱性蚀刻药液。本发明通过改变药品的配方，添加络合剂和缓蚀剂，添加表面活性剂增强洗涤效果，降低片碱的浓度，延长作业时间。通过这些工艺参数的变更，可以在保证扩孔和Ra符合要求的同时，满足去除毛刺的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碱性 蚀刻 药液 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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