[发明专利]一种等离子体腔室用陶瓷板清洗药液及其应用在审
| 申请号： | 202011215033.X | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN112358920A | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 万俊;刘超;许杰 | 申请（专利权）人： | 合肥微睿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/26 | 分类号： | C11D7/26;C11D7/08;C11D7/60;B08B3/08;B08B3/10 |
| 代理公司： | 合肥超通知识产权代理事务所(普通合伙) 34136 | 代理人： | 饶晓玲 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体腔室用陶瓷板清洗药液及其应用，由以下质量百分比的原料组成：水溶性有机酸5‑20％，一元无机酸0.03‑5％，去离子水75‑94.97％。其制备过程为：将水溶性有机酸和一元无机酸混合加入到去离子水中，搅拌均匀至完全溶解即可。本发明清洗药液利用水溶性有机酸如柠檬酸对受氟离子污染的陶瓷板中氟杂质的溶解特性，将受污染的陶瓷板中的氟化物转化为可溶性水洗杂质，便于污染物的去除，通过添加适量一元无机酸如硝酸，能够加快反应速度，实现安全高效地去除受等离子体腔室内氟离子污染的陶瓷板的脏污，恢复陶瓷板原本色泽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 体腔 陶瓷 清洗 药液 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥微睿光电科技有限公司，未经合肥微睿光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011215033.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种船用批量充注制冷剂装置及方法
- 下一篇：一种自动小件盒组合柜的回力装置
