[发明专利]铝钪合金靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202011215661.8 | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN112548069B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 周贤界;黄勇彪 | 申请（专利权）人： | 深圳市众诚达应用材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B22D18/02 | 分类号： | B22D18/02;C22F1/02;C22F1/04;C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人： | 林俭良 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例公开了一种铝钪合金靶材的制备方法，所述方法包括将金属钪和金属铝按一定配比投入熔炼炉中，在真空或惰性气氛下，熔炼得到铝钪合金熔体；将所述铝钪合金熔体浇铸到待加压铸造模具中，并将所述待加压铸造模具转移到挤压装置中，启动所述挤压装置，得到铸压坯体；将所述铸压坯体在真空退火炉中退火。采用本发明可以制备任意配比的铝钪合金靶材，获得的铝钪合金靶材具有组织和化学成分均匀，气孔、夹杂等缺陷小，相对密度高，加工性能好等优点，适合压电薄膜、传感器、微电子、半导体芯片、光伏等高端产业的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市众诚达应用材料科技有限公司，未经深圳市众诚达应用材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011215661.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
