[发明专利]一种OLED显示面板的制备方法及OLED显示面板在审
申请号: | 202011215784.1 | 申请日: | 2020-11-04 |
公开(公告)号: | CN112420605A | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 张乐陶;张良芬 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/77 | 分类号: | H01L21/77;H01L27/32 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 李新干 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种OLED显示面板的制备方法及OLED显示面板。所述制备方法包括下列步骤:在第一金属层上制备有机光阻层;采用半色调掩膜版对所述有机光阻层进行曝光显影处理,使所述有机光阻层形成对应像素电极图案的图案化有机光阻层;利用所述图案化有机光阻层,将所述第一金属层未被所述图案化有机光阻层遮蔽的部分刻蚀,形成像素电极;将所述图案化有机光阻层部分灰化,形成像素定义层;采用等离子体工艺处理所述像素定义层的表面以形成疏水层;在所述像素电极上且对应于所述像素定义层的开孔内采用喷墨打印工艺打印发光材料,形成有机发光层。本发明将像素电极和像素定义层采用同一张半色调掩膜版制作,减少了黄光制程次数,节约了成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 oled 显示 面板 制备 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造