[发明专利]光刻胶收集杯清洗设备及光刻胶收集杯清洗方法有效
| 申请号： | 202011218169.6 | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN114433533B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 金在植;张成根;林锺吉;贺晓彬;李亭亭;刘金彪;杨涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B3/02;G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 李晶 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶收集杯清洗设备，该光刻胶收集杯清洗设备包括清洗液喷嘴、旋转装置、清洁组件和控制器，其中，清洗液喷嘴用于喷洒清洗液；旋转装置包括转轴和与转轴连接的旋转盘，旋转盘位于清洗液喷嘴的上方，用于将清洗液溅射到待清洗的光刻胶收集杯的内侧；清洁组件设置在旋转盘内，清洁组件设置成随旋转盘的转动伸出，以清洁光刻胶收集杯；控制器分别与转轴和清洗液喷嘴通信连接。本实施例中清洗液和清洁组件均能够对光刻胶收集杯进行清洗，提高了清洁效果和清洁效率，避免了残余光刻胶因清洗不到位导致的影响后续产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 收集 清洗 设备 方法 | ||
【主权项】：
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