[发明专利]一种新型氨气传感器芯片及其制备方法在审
| 申请号： | 202011224566.4 | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN112362716A | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 谢光远;时可;邱电荣;尹亮亮;吴旭旭 | 申请（专利权）人： | 武汉科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407;G01N27/41 |
| 代理公司： | 枣庄小度智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 37282 | 代理人： | 郑素娟 |
| 地址： | 430081 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型氨气传感器芯片及其制备方法。芯片包括由上而下依次设置的第一层至第五层流延基片，在第一层流延基片正面印刷公共外电极，其反面印刷非活性电极，在第一层流延基片反面或第三层流延基片正面印刷催化电极，非活性电极和公共外电极形成泵氧功能单元，催化电极和公共外电极形成测氨功能单元；在第三层流延基片反面或第四层流延基片正面印刷参考电极；在第五层流延基片正面印刷加热电阻，加热电阻两侧分别印刷绝缘层，加热电阻通过小孔和第五层流延基片反面引脚相连。本发明具有控制简单和测试精确的特点，所制备的氨气传感器芯片能够连续精确地测量氧气和氨气含量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 氨气 传感器 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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