[发明专利]一种在线温控标定的硅压阻压力传感器及其温度标定方法有效
| 申请号： | 202011227769.9 | 申请日： | 2020-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN112378553B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 朱晓;柏楠;谢耀;韩士超 | 申请（专利权）人： | 北京自动化控制设备研究所 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/06;G01L25/00;G01L27/00;G05D23/19;G05D23/24 |
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| 地址： | 100074 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种在线温控标定的硅压阻压力传感器及其温度标定方法，该传感器包括外壳和设置于外壳内的表芯、测温元件、加热元件、恒温结构层、制冷元件、机械支撑结构层、隔热结构层、控制电路与导线；表芯包括芯片和基座，芯片封装在基座上，测温元件设置于表芯上，恒温结构层与基座共同组成第一腔体；加热元件和制冷元件均设置在恒温结构层的外壁上；表芯、测温元件、加热元件均通过导线与控制电路电气连接；机械支撑结构层与基座共同组成第二腔体，第二腔体的外壁上包裹有隔热结构层；隔热结构层和控制电路均与外壳机械连接。本发明能够解决现有传感器无法实现免拆装在线标定的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 温控 标定 硅压阻 压力传感器 及其 温度 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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