[发明专利]晶舟结构和具有其的晶舟组件和扩散炉在审
| 申请号： | 202011228207.6 | 申请日： | 2020-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN114438600A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 高鹏飞 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/14 | 分类号： | C30B31/14 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 该发明公开了一种晶舟结构和具有其的晶舟组件和扩散炉，晶舟结构包括支撑架，支撑架包括上支撑件和下支撑件，上支撑件与下支撑件之间设有多个支撑杆，支撑杆的两端分别与上支撑件和下支撑件相连，多个支撑杆沿上支撑件的周向间隔开设置且在其中两个相邻支撑杆之间形成有适于晶圆通过的开口；晶圆支撑部，晶圆支撑部设在支撑杆上以承载晶圆，晶圆支撑部包括支撑板和至少一个晶圆插板，支撑板和至少一个晶圆插板承载同一晶圆，支撑板与支撑杆相连且与上支撑件和下支撑件的中心位置处相对应，晶圆插板设在支撑杆的内侧以支撑晶圆的边缘。根据本发明实施例的晶舟结构，能够减小晶圆在制造中由于受到应力作用而发生破裂的风险，提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 具有 组件 扩散 | ||
【主权项】：
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