[发明专利]一种用于微机电器件的非线性弹性约束结构及约束方法有效
| 申请号： | 202011228319.1 | 申请日： | 2020-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN112287488B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 陈志勇;张嵘;周斌;魏琦 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G06F30/17 | 分类号： | G06F30/17;G06F119/14 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 任文娟 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于微机电器件的非线性弹性约束结构及约束方法，包括如下部件：若干固定体和一梁长约束体；若干直梁，若干所述直梁的第一端分别与若干所述固定体一一对应连接，若干所述直梁的第二端分别与所述梁长约束体连接；当所述直梁与所述梁长约束体连接的端点发生位移时，所述梁长约束体和所述固定体约束所述直梁在长度方向发生变形。本发明的非线性弹性约束结构与线性弹性约束结构相比，在相同的外力冲击下，可以减小可动部分的位移，避免可动部分与保护挡块碰撞，或减小碰撞时的撞击力，更好地保护器件微结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 微机 器件 非线性 弹性 约束 结构 方法 | ||
【主权项】：
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