[发明专利]一种稳定恒温净化装置有效
| 申请号： | 202011229947.1 | 申请日： | 2020-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN112344492B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 李小平;任振;熊飞;梅早阳 | 申请（专利权）人： | 武汉智能装备工业技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | F24F8/108 | 分类号： | F24F8/108;F24F13/20;F24F13/28;F24F13/32;B01D46/10 |
| 代理公司： | 武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267 | 代理人： | 王世芳;曹葆青 |
| 地址： | 430075 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种稳定恒温净化装置，属于半导体制造设备中的微环境领域，其包括温控腔体和温控柜体，温控柜体将控制后的气流经进气管输送至温控腔体内，经回风管将温控腔体内部气流进行回收利用，温控腔体内设有独立气浴，温控腔体骨架部分由铝型材框架搭建而成，外部由隔热防潮板密封，温控腔体内顶部设置有匀化袋，匀化袋与温控腔体侧壁的进气口连接，匀化袋布置在气囊内部，经温控柜体处理过的气流经进气口进入匀化袋内部后分散至气囊内部，独立气浴与独立气浴进风口连接，独立气浴进风口与气囊连接，气囊内的气流通过独立气浴进风口输送至独立气浴内部。本发明装置结构简单，方便拆装，温湿度控制精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稳定 恒温 净化 装置 | ||
【主权项】：
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