[发明专利]一种光束质量测量方法及系统在审
| 申请号： | 202011231540.2 | 申请日： | 2020-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN112378623A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 蔡志强 | 申请（专利权）人： | 北京卓镭激光技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 何爽 |
| 地址： | 101300 北京市顺义区安平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种光束质量测量方法及系统，该方法包括：将待测量的光束射入聚焦透镜进行聚焦，使聚焦后的光束射入分光镜组；分光镜组包括多个均匀设置在聚焦透镜的光轴上、且与光轴相交于分光镜的镜面中心的分光镜；由每个CCD检测从每个分光镜折射出的光束的光斑大小；根据测量光斑大小，分别控制对应的CCD沿可移动路线移动，测量光斑最小时的光斑大小；其中，可移动路线与光轴垂直，垂直为分光镜的镜面中心，CCD可移动路程等于相邻两分光镜间的距离；根据每个CCD测量出的光斑大小和对应的第一距离，拟合得到光斑大小与第一距离关系曲线；根据光斑大小与第一距离关系曲线计算当前光束质量。本申请具有测量速度快、实时性好的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光束 质量 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
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