[发明专利]致动器及包含致动器的芯片在审
| 申请号： | 202011232144.1 | 申请日： | 2020-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN112777562A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 许郁文 | 申请（专利权）人： | 躍旺创新股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/04 | 分类号： | B81B7/04 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 曹瑾 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开涉及致动器及包含致动器的芯片。本发明提供一种直线致动器。直线致动器包括：具有一空腔的一基板；形成于该基板上的一第一固定电极结构；一弹性悬挂装置；以及通过该弹性悬挂装置连接到该基板的一可动电极结构，其中：该空腔具有一第一面积；该第一固定电极结构与该可动电极结构的至少其中之一在该基板上具有一第二投影面积；以及该第一面积与该第二投影面积互相重叠。直线致动器可以制造出一种出平面直线运动马达，其具有大运动行程、冲击力强、易于去除残留的制程污染物、机电能量转换效率的提高、以及可动梳状结构的离轴运动解耦合。 | ||
| 搜索关键词： | 致动器 包含 芯片 | ||
【主权项】：
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