[发明专利]一种用于旋转器件型光谱椭偏仪系统的电机光谱仪同步方法

摘要

本发明涉及一种用于旋转器件型光谱椭偏仪系统的电机光谱仪同步方法，首先设置光谱仪积分时间为t以及采集帧数为n*N1,进行光谱采集并保存；从中提取所有周期内所有帧数在波长点λ2的光谱数据，并绘制光谱曲线图，得到包含有N1条光谱曲线的曲线图1，并计算曲线图1中光谱曲线线宽D；所述在波长点λ2的光谱数据的特征为该波长点在不同周期内的变化趋势为上下震动；然后对所述光谱仪积分时间t进行调制，并绘制光谱曲线图，若无论增加或减小积分时间，调制后的光谱曲线图中光谱曲线线宽均大于调制前的光谱曲线线宽D，则光谱仪积分时间t即为最佳积分时间，此时电机与光谱仪同步。