[发明专利]用于潮湿水环境中的载荷传感器元件有效

专利信息
申请号: 202011237588.4 申请日: 2020-11-09
公开(公告)号: CN112432720B 公开(公告)日: 2022-08-05
发明(设计)人: 俞海波;张林;张雯丽;张万亮;周成双 申请(专利权)人: 浙江工业大学
主分类号: G01L1/00 分类号: G01L1/00;C22C38/38;C23C14/04;C23C14/08;C23C14/16;C23C14/35;C23C14/58
代理公司: 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 代理人: 杨小凡
地址: 310014 浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种用于潮湿水环境中的载荷传感器元件,包括基底、设于基底上表面上的过渡缓冲层、设于过渡缓冲层上表面上的绝缘层、设于绝缘层上表面上的功能层、设于功能层上表面上的防护层;基底采用316L不锈钢材料制成,过渡缓冲层为CrNi膜,绝缘层为TiO2膜,功能层为FeCrMn合金膜,防护层为Al2O3膜。本发明在潮湿水环境中,载荷传感器元件可以牢固地固定于试样上,相互之间连接呈无机质化,因而消除了零点漂移和蠕变,实现了温度自补偿,从而提高了载荷传感器元件的灵敏度和测量结果的准确性的特点。
搜索关键词: 用于 潮湿 水环境 中的 载荷 传感器 元件
【主权项】:
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