[发明专利]用于高压硫化氢环境中的薄膜式电阻应变计

摘要

本发明公开了一种用于高压硫化氢环境中的薄膜式电阻应变计，包括基底、设于基底上表面上的过渡缓冲层、设于过渡缓冲层上表面上的绝缘层、设于绝缘层上表面上的功能层、设于功能层上表面上的防护层；基底采用316L不锈钢材料制成，过渡缓冲层为Cr膜，绝缘层为AlN膜，功能层为FeNi合金膜，防护层为CrOx膜。本发明在高压硫化氢环境中，薄膜式电阻应变计可以牢固地固定于试样上，相互之间连接呈无机质化，因而消除了零点漂移和蠕变，实现了温度自补偿，从而提高了薄膜式电阻应变计的灵敏度和测量结果的准确性的特点。