[发明专利]一种采用金属辅助湿法刻蚀制备硅基微针的制备方法及其应用有效
| 申请号： | 202011238936.X | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN112221010B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 周成刚;马圆圆;魏钰;陈琳 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | A61M37/00 | 分类号： | A61M37/00;C23F1/24;C23F1/02;C23C18/42 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 豆贝贝 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种采用金属辅助湿法刻蚀制备硅基微针的制备方法，包括:将预处理硅片表面涂光刻胶进行图形化处理，得到样片；将所述样片在硝酸银‑氢氟酸‑超纯水混合溶液中沉积，得到沉积硅片；将所述沉积硅片在氢氟酸‑过氧化氢混合溶液中刻蚀，清洗后浸泡在食人鱼溶液中，再去除硅纳米线，得到硅基微针。本发明提供的方法只需要用光刻胶做简单地图形化处理，然后利用金属辅助湿法刻蚀在酸性条件下刻蚀出大尺寸微针，微针高度可控，微针位置可控，刻蚀时间短，工艺过程简单，效果显著。硅基微针高度为90～137微米；制备的传感器对过氧化氢有良好的线性响应，响应电流较大，可不少于4小时的检测过氧化氢的浓度变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 金属 辅助 湿法 刻蚀 制备 硅基微针 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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