[发明专利]一种准分子激光器稳定性控制方法及准分子激光器有效
| 申请号： | 202011239030.X | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN112490839B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 韩晓泉;孙泽旭;冯泽斌;刘广义;王倩;周翊;沙鹏飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01S3/097 | 分类号： | H01S3/097;H01S3/13;H01S3/134 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种准分子激光脉冲能量稳定性控制方法及准分子激光器，所述控制方法包括：根据设定放电电压值产生高压脉冲；通过所述高压脉冲电击放电腔内设的工作气体，产生激光脉冲；检测所述激光脉冲的能量值，并输出所述激光脉冲；基于所述能量值利用PI算法计算对所述放电电压值进行调节；以及利用PSO算法确定所述PI算法中的比例参数及积分参数。本发明所述准分子激光脉冲能量稳定性控制方法利用PSO算法确定所述PI算法中的比例参数及积分参数，实现PI参数自适应处理，在PI算法的基础上增强了算法的鲁棒性和有效性，使算法对出光脉冲的调节更加精准，能量和剂量的精度都得到了更好的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 准分子激光 稳定性 控制 方法 | ||
【主权项】：
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