[发明专利]一种超薄液态金属薄膜及制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 202011239415.6 申请日: 2020-11-09
公开(公告)号: CN112410729B 公开(公告)日: 2022-12-06
发明(设计)人: 刘宜伟;王盛丁;李润伟 申请(专利权)人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主分类号: C23C14/20 分类号: C23C14/20;C23C14/58;H01B1/02;H01B13/00
代理公司: 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人: 刘诚午
地址: 315201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及柔性电子技术领域,公开了一种超薄液态金属薄膜及制备方法和应用,其制备方法包括步骤:以柔性材料为基底,在其表面蒸发沉积液态金属得到液态金属膜;在其表面覆盖第二层柔性材料,再进行压印、剥离得到厚度降低的两个液态金属膜;重复步骤以上操作,不同剥离次数得到不同厚度的超薄液态金属薄膜,所制备的液态金属膜厚度在纳米级别,具有连续导电性,简单易行,并且可大批量,在微型化电子器件的制备中具有良好的应用前景。
搜索关键词: 一种 超薄 液态 金属 薄膜 制备 方法 应用
【主权项】:
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