[发明专利]一种新型的扫描电子显微镜有效
| 申请号： | 202011239638.2 | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN112349570B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 屠浩奇;梁荣 | 申请（专利权）人： | 宁波工程学院 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/20;H01J37/22;H01J37/244;H01J37/28 |
| 代理公司： | 浙江亿创果专利代理有限公司 33339 | 代理人： | 许静 |
| 地址： | 315016 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描电子显微镜，包括机架，所述机架内设置有试样板，所述试样板的顶端安装有扫描发生器，所述扫描发生器的一端设置有隔板，所述机架的外侧设置有真空管，所述机架的顶端安装有连接座，所述连接座上设置有镜筒，所述镜筒内设置有电子枪，所述机架内设置有支架。本发明在机架的内部设置有护罩，且通过护罩与物镜光闸的连接，可实现样品室内部的试样板上的样品的检测，进一步的增加扫描过程中的精准度，方便检测过程中的精度，从而更好的进行解析物品，在机架内部设置有隔板，且通过隔板可实现机架内部部分空间的隔绝，针对于试样板上进行全面的抽空，方便检测过程中的精度，防止外物的干扰，影响精度的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
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