[发明专利]高储能密度、高储能效率的AFE电容器的制备、反铁电薄膜层及制备、柔性AFE电容器有效
| 申请号： | 202011241618.9 | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN112447413B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 钟高阔;李江宇;陈骞鑫;任传来;张园 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | H01G11/84 | 分类号： | H01G11/84;H01G4/33;H01G4/08;C23C14/28;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 任志龙 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及高储能密度、高储能效率的AFE电容器的制备、反铁电薄膜层及制备、柔性AFE电容器。AFE电容器的制备方法包括以下步骤：在基底上沉积缓冲层；在缓冲层上沉积第一电极层；在电极层上沉积包含两层以上薄膜的反铁电薄膜层；在反铁电薄膜层上沉积第二电极层，得到AFE电容器；其中反铁电薄膜层通过脉冲激光沉积，且相邻薄膜包含的元素可相同或不同。本申请制备的AFE电容器提高其最大击穿电压；同时，本申请利用不同激发数组分的方法制备的AFE电容器层，提高了AFE电容器储能密度及储能效率；具有优异的耐疲劳性与柔性机械性能，利于AFE电容器在弯曲状态下保持其极化等性能，为新型储能设备的开发与应用开拓了新的道路。 | ||
| 搜索关键词： | 高储能 密度 效率 afe 电容器 制备 反铁电 薄膜 柔性 | ||
【主权项】：
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