[发明专利]一种单质硅水解制备超高纯硅溶胶的方法、超高纯硅溶胶及其应用有效
| 申请号： | 202011242546.X | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN112573527B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 王建宇;吴琳;陈潇 | 申请（专利权）人： | 万华化学集团电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/141 | 分类号： | C01B33/141;C01B33/148;C09G1/02;H01L21/306 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264006 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单质硅水解制备超高纯硅溶胶的方法、超高纯硅溶胶及应用，该方法以胍类化合物为催化剂，通过高纯硅粉与水反应制备初始硅溶胶，然后通过过滤除杂、催化剂去除、水置换、浓缩一系列步骤得到质量分数20％以上、粒径20‑100nm的超高纯硅溶胶，所述硅溶胶金属离子含量小于1ppm。本发明既解决了单质硅法制备硅溶胶引入金属杂质的问题，又能有效去除有机催化剂，避免各杂质组分对半导体CMP应用的干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单质 水解 制备 高纯 硅溶胶 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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