[发明专利]基板冷热处理装置在审
| 申请号： | 202011244572.6 | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN112379579A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 张存 | 申请（专利权）人： | 芯米（厦门）半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/38 |
| 代理公司： | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人： | 吴圳添 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及基板处理技术领域，具体为一种基板冷热处理装置，包括支撑杆、下支撑板、上支撑板、框架、水箱、加热器以及空调，所述支撑杆位于下支撑板的下端，所述上支撑板位于下支撑板的上端，所述下支撑板上设有第二电热管、支撑部以及冷凝管，并且所述上支撑板与下支撑板之间设有连接杆，通过支撑杆支撑下支撑板，通过连接杆使上支撑板固定在下支撑板的上端，所述框架、水箱、加热器以及空调均位于下支撑板的左侧，所述水箱位于框架的底端，所述加热器安装在水箱的上端，所述空调安装在加热器的上端，通过加热器使第二电热管进行加热，通过水箱使冷凝管具有冷却的效果，通过支撑部支撑基板，使基板固定。 | ||
| 搜索关键词： | 冷热 处理 装置 | ||
【主权项】：
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