[发明专利]一种高精度测量光学元件体内光斑大小的测试装置及方法有效
申请号: | 202011245093.6 | 申请日: | 2020-11-10 |
公开(公告)号: | CN112414677B | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 单翀;赵晓晖;高妍琦;夏兰;崔勇;饶大幸;李小莉;冯伟;赵元安;胡国行;刘晓凤;史海涛 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人: | 周涛 |
地址: | 201899 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及到一种高精度测量光学元件体内光斑大小的测试装置,所述测试装置结构上包括有激光器(1)、衰减器(2)、聚焦透镜(3)、平行光管(4)、成像镜头(5)、CCD相机(7)、第一电动位移平台(10)、第二电动位移平台(8)、分划板(9)和计算机(11),还涉及一种应用所述的测试装置测量光学元件体内光斑大小的方法。本发明的测试装置和测试方法能够精确的计算出待测光学元件内任意位置处的光斑大小,解决了传统测试方法中无法直接测量光学元件任一位置光斑大小以及理论计算精度较低等问题,为光学元件的激光加工、非线性效应以及激光损伤等方面的生产和研究提供了更多的帮助。 | ||
搜索关键词: | 一种 高精度 测量 光学 元件 体内 光斑 大小 测试 装置 方法 | ||
【主权项】:
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