[发明专利]用于检验样品的测量仪器和用于确定样品高度图的方法有效
| 申请号： | 202011245194.3 | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN112833812B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 阿姆托尔·曼努埃尔;哈泽·丹尼尔;斯蒂尔·多米尼克 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/06 |
| 代理公司： | 上海雍灏知识产权代理事务所(普通合伙) 31368 | 代理人： | 沈汶波 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于确定样品(10)的高度图(10D)的方法包括以下步骤：获得样品(10)的高度测量数据；获得样品(10)的概览图(10A)；识别概览图(10A)中的特定的图像区域(11A，12A，13A，14A)；导出已识别的图像区域(11A，12A，13A，14A)的上下文信息；并且借助于上下文信息补充或改变高度测量数据。此外，描述一种设计用于执行该方法的测量仪器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检验 样品 测量 仪器 确定 高度 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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