[发明专利]一种基于磁控溅射对石英谐振器升频调节的技术

摘要

本发明公开了一种基于磁控溅射对石英谐振器进行升频调节的技术。在磁控溅射条件下，将未封装的石英压电谐振器装载在调频平台，并将石英谐振器与调频平台整体安装在原磁控溅射靶材位置，选择合适的溅射参数，使高能溅射离子作用在石英谐振器电极中心，将磁控溅射系统、在线频率测试系统与计算机控制系统相连接，通过调节加工参数实现电极中心厚度的快捷精准减薄，最终实现准确升高石英谐振器谐振频率的目标。本发明所提出的石英谐振器升频调节技术，基于成熟的磁控溅射工艺，具有电极刻蚀速度快、减薄均匀性好、成本低廉、利于产业化的特点，适合不同频率、不同电极材料及分布、不同振动模式的石英谐振器频率微调的应用。