[发明专利]一种微镜结构及形成方法、微镜阵列以及探测器在审
| 申请号： | 202011250270.X | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112320751A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 程正喜;徐鹤靓;陈永平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | B81B7/04 | 分类号： | B81B7/04;B81C1/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微镜结构，包括：六边形光反射膜，悬设于衬底上；六段导电梁，首尾依次相邻或相接地围绕在光反射膜的外侧以外或下方位置，各导电梁分别通过一个支点结构绝缘地连接至光反射膜的一条对应边的外侧上；六个支撑柱，分别支撑于每两段导电梁的相邻或相接端点位置的下方；通过向至少一段导电梁中通电，使导电梁中的下导电梁和上导电梁因静电相吸或排斥而使导电梁整体产生向上或向下方向的弯曲变形，带动与之连接的光反射膜的对应边向上或向下位移，并通过对各段导电梁执行分别控制所形成的变形大小不同组合，实现使光反射膜朝向任意预定方向的偏转或/和上下浮动。本发明还公开了一种微镜结构形成方法、微镜阵列和探测器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 形成 方法 阵列 以及 探测器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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