[发明专利]一种带有热镀锡钝化保护膜的叉指电极及其制备方法

摘要

本发明提供了一种带有热镀锡钝化保护膜的叉指电极及其制备方法。本发明采用磁控溅射的方法在陶瓷表面溅射金属层，并通过光刻的方式在金属层上形成叉指形状，采用热镀的方法将金属锡镀到电极表面，然后用钝化剂对锡层进行钝化。这种带有热镀锡钝化保护膜的叉指电极可以使用在较为复杂的工作环境中，相比于无保护层的叉指电极，其在高温高湿或含盐量较高的环境中具有更长的寿命，同时本发明操作简单、成本低且性能优异，适合大面积推广。