[发明专利]真空用机器人、真空用马达、真空马达用编码器在审
| 申请号： | 202011252642.2 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112803696A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 原田正信;赤江裕光;岩﨑则久 | 申请（专利权）人： | 株式会社安川电机 |
| 主分类号： | H02K29/08 | 分类号： | H02K29/08;H02K5/16;H02K11/215 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 徐丹;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 真空用机器人、真空用马达、真空马达用编码器。减少真空马达用编码器中的杂质气体的产生。第一真空用马达(M1)具有：在轴向上延伸设置的第一回转轴部件(73)；将第一回转轴部件(73)支承为能够旋转的轴承(97)；盘(145)，其能够与第一回转轴部件(73)一起旋转，在该盘形成有缝隙；由非磁性材料构成并支承轴承(97)的第一托架(95)；凹部(151)，其以在轴向上凹陷的方式形成于第一托架(95)；和传感器单元(147)，其隔着借助凹部(151)形成的薄壁部(185)而与盘(145)在轴向上对置配置，对缝隙进行检测，配置传感器单元(147)且成为大气压的空间和配置盘(145)且被减压为比大气压低的压力的空间被薄壁部(185)隔绝。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 机器人 马达 编码器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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